紅外氣體傳感器

簡要描述：紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。

產品型號：Gasboard-2061
廠商性質：生產廠家
更新日期：2025-02-06
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氣體傳感器

揚塵傳感器/檢測儀風扇/鼓風機 CO2變送器甲烷傳感器電池熱失控可燃氣體安全監(jiān)測傳感器電化學CO傳感器 SF6傳感器甲醛檢測儀二氧化碳傳感器粉塵傳感器甲醛&VOC傳感器檢測儀&集成模組醫(yī)用氧傳感器汽車電子微型紅外傳感器氧/氮氧傳感器

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紅外氣體傳感器

產品名稱：紅外氣體傳感器

產品型號：Gasboard-2061

紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。

紅外氣體傳感器產品特性

（1）使用NDIR技術，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數字通信

（5）模塊化設計，便于集成

紅外氣體傳感器技術參數

檢測原理	NDIR
檢測氣體	WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重復性	±0.5%
線性	±1%F.S.
檢測限	1ppm

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